A.Izumi,S.Sohara,M.Kudo and H.Matsumura: "Low temperature formation of ultra-thin SiO_2 layers using direct oxidation method in a catalytic chemical vapor deposition"Materials Research Society Symposium Proceedings. 567. 115-120 (1999)
A.Izumi,S.Sohara,M.Kudo and H.Matsumura: "Low temperature formation of ultra-thin SiO_2 layers using direct oxidation method in a catalytic chemical vapor deposition"Materials Research Society Symposium Proceedings. 567. 115-120 (1999)
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A.Izumi、S.Sohara、M.Kudo 和 H.Matsumura：“在催化化学气相沉积中使用直接氧化法低温形成超薄 SiO_2 层”材料研究会研讨会论文集。
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