Comparison of atomic-scale KMC simulation on {100}-oriented CVD diamond film growth in C-H and C-H-Cl systems
Comparison of atomic-scale KMC simulation on {100}-oriented CVD diamond film growth in C-H and C-H-Cl systems
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C-H 和 C-H-Cl 体系中 {100} 取向 CVD 金刚石薄膜生长的原子级 KMC 模拟比较
DOI：
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发表时间：
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影响因子：
3.5
通讯作者：
Shengxin Liu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Xizhong An;Yu Zhang;Guoquan Liu;Xiangge Qin;Fuzhong Wang;Shengxin Liu
