Structure of Porous Si Formed by Metal-Particle (Pt, Pd) Enhanced HF Etching
Structure of Porous Si Formed by Metal-Particle (Pt, Pd) Enhanced HF Etching
复制标题
金属颗粒（Pt、Pd）增强高频刻蚀形成的多孔硅结构
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hitoshi Matsuda 他3名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shinji Yae;Naoki Fukumuro;Hitoshi Matsuda 他3名
