STEP-CONTROLLED EPITAXY OF SIC: HIGH-QUALITY HOMOEPITAXIAL GROWTH
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复制标题
SIC 的阶跃控制外延：高质量同质外延生长
DOI：
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发表时间：
1998
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Kimoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Matsunami;T. Kimoto
