Pulse Injecion MethodによるAlNの成長と結晶性の向上

Pulse Injecion MethodによるAlNの成長と結晶性の向上
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脉冲注入法生长 AlN 并提高结晶度

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
第66回応用物理学会学術講演会 8a-X-12
影响因子:
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通讯作者:
霜垣幸浩
霜垣幸浩
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
梁正承;Kumtornkittikul Chaiyasit;杉山正和;中野義昭;霜垣幸浩

文献摘要

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