太田裕朗, 浜口智志, 若谷誠宏: "CF_xによるSiO_2エッチングにおける表面反応の分子動力学シミュレーション"第7回分子動力学シンポジウム講演論文集. 1-4 (2002)

太田裕朗, 浜口智志, 若谷誠宏: "CF_xによるSiO_2エッチングにおける表面反応の分子動力学シミュレーション"第7回分子動力学シンポジウム講演論文集. 1-4 (2002)
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Hiroaki Ota、Satoshi Hamaguchi、Masahiro Wakatani:“CF_x SiO_2 蚀刻中表面反应的分子动力学模拟”第七届分子动力学研讨会论文集 1-4 (2002)。

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