金属電極とHf系高誘電率絶縁膜界面の実効仕事関数変調機構

金属電極とHf系高誘電率絶縁膜界面の実効仕事関数変調機構
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金属电极与Hf基高介电常数绝缘膜界面的有效功函数调制机制

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
他
他
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
渡部平司;他

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