N.SONODA,Yong SUN: "Low-Temperature Growth of Oriented Silicon Cavbide on Silicon by Reactive Hydrogen Plasma Sputtering Technique" Jpn.J.Appl.Phys.35・8B. L1023-L1026 (1996)
N.SONODA,Yong SUN: "Low-Temperature Growth of Oriented Silicon Cavbide on Silicon by Reactive Hydrogen Plasma Sputtering Technique" Jpn.J.Appl.Phys.35・8B. L1023-L1026 (1996)
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N.SONODA,孙勇:“通过反应氢等离子体溅射技术在硅上低温生长取向硅碳化物”Jpn.J.Appl.Phys.35・8B(1996)。
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