Masaharu Shiratani: "IN SITU OBSERVATION OF GROWING PROCESS OF PARTICLES IN SILANE PLASMAS AND THEIR EFFECTS ON AMORPHOUS SILICON DEPOSITION" Proc.1991 Fall Meeting of Materials Research Society.
Masaharu Shiratani: "IN SITU OBSERVATION OF GROWING PROCESS OF PARTICLES IN SILANE PLASMAS AND THEIR EFFECTS ON AMORPHOUS SILICON DEPOSITION" Proc.1991 Fall Meeting of Materials Research Society.
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Masaharu Shiratani：“原位观察硅烷等离子体中粒子的生长过程及其对非晶硅沉积的影响”Proc.1991 年材料研究学会秋季会议。
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