Low-damage surface processing by gas cluster ion beams
Low-damage surface processing by gas cluster ion beams
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通过气体团簇离子束进行低损伤表面处理
DOI：
10.1016/0168-583x(94)00658-x
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发表时间：
1995
影响因子：
1.3
通讯作者：
I. Yamada
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Akizuki;J. Matsuo;M. Harada;S. Ogasawara;A. Doi;K. Yoneda;Tetsuro Yamaguchi;G. Takaoka;C. Ascheron;I. Yamada
影响因子：
3.7
作者：
Whissell PD;Tohyama S;Martin LJ
通讯作者：
Martin LJ