Yonemura,S.: "Particle Modeling of RF Magnetron Discharges of Oxygen/Argon Mixture"Proceedings of Plasma Science Symposium 2001/The 18th Symposium on Plasma Processing. 211-212 (2001)

Yonemura,S.: "Particle Modeling of RF Magnetron Discharges of Oxygen/Argon Mixture"Proceedings of Plasma Science Symposium 2001/The 18th Symposium on Plasma Processing. 211-212 (2001)
复制标题

Yonemura,S.:“氧/氩混合物的射频磁控管放电的粒子建模”2001 年等离子体科学研讨会论文集/第 18 届等离子体处理研讨会论文集。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献