はじめての精密工学 : 圧電アクチュエータ-精密位置決めへの応用

はじめての精密工学 : 圧電アクチュエータ-精密位置決めへの応用
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第一精密工程:压电执行器 - 应用于精密定位

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
精密工学会誌 72,4
影响因子:
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通讯作者:
古谷克司
古谷克司
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Daiji Noda;et. al.;F.Iguchi;古谷克司

文献摘要

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