窒素組成制御による 金属性HfN/絶縁性HfNx/Ge MIS構造の研究
窒素組成制御による 金属性HfN/絶縁性HfNx/Ge MIS構造の研究
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控制氮成分研究金属HfN/绝缘HfNx/Ge MIS结构
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
前田 辰郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三浦 脩;田中 正俊;安田 哲二;前田 辰郎
