T.Sugaya,M.Kawabe: "Low-Temperature Cleaning of GaAs Subtrate by Atomic Hydrogen IrrAdiation" Jpn.J.Appl.Phys.30. L402-L404 (1991)
T.Sugaya,M.Kawabe: "Low-Temperature Cleaning of GaAs Subtrate by Atomic Hydrogen IrrAdiation" Jpn.J.Appl.Phys.30. L402-L404 (1991)
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T.Sugaya,M.Kawabe:“通过原子氢辐照辐射对 GaAs 基板进行低温清洗”Jpn.J.Appl.Phys.30。
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