Y.Kawai,Y.Ueda,M.Moromito,S.Hiejima and I.Katsumata: "Measurements of ECR silane plasma parameters"Materials Processing Technology. 92-93. 230-234 (1999)
Y.Kawai,Y.Ueda,M.Moromito,S.Hiejima and I.Katsumata: "Measurements of ECR silane plasma parameters"Materials Processing Technology. 92-93. 230-234 (1999)
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Y.Kawai、Y.Ueda、M.Moromito、S.Hiejima 和 I.Katsumata：“ECR 硅烷等离子体参数的测量”材料加工技术。
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