Advanced Piezoelectric Films for MEMS and Acoustic Wave Devices
Advanced Piezoelectric Films for MEMS and Acoustic Wave Devices
复制标题
用于 MEMS 和声波器件的先进压电薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K. Wasa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Tanaka;S. Yoshida;M. Kadota;K. Wasa
