反応性微粒子プラズマプロセスを用いたゲルマニウム結晶ナノ粒子含有膜の堆積と量子ドット太陽電池への応用

反応性微粒子プラズマプロセスを用いたゲルマニウム結晶ナノ粒子含有膜の堆積と量子ドット太陽電池への応用
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使用反应粒子等离子体工艺沉积含锗晶体纳米颗粒薄膜及其在量子点太阳能电池中的应用

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
スマートプロセス学会誌
影响因子:
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通讯作者:
白谷正治
白谷正治
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
内田儀一郎;市田大樹;徐鉉雄;古閑一憲;白谷正治

文献摘要

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