Deposition of a high entropy thin film by aerosol-assisted chemical vapor deposition.
Deposition of a high entropy thin film by aerosol-assisted chemical vapor deposition.
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通过气溶胶辅助化学气相沉积沉积高熵薄膜。
DOI：
10.1039/d3cc03205a
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Xiao W
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Xiao W
本文首次报道了利用分子前驱体通过AACVD沉积高熵（CuZnCoInGa）S金属硫化物薄膜。
Herein we report for the first time the synthesis of a high entropy (CuZnCoInGa)S metal sulfide thin film deposited by AACVD using molecular precursors.