Patterning of organic layers using negative and positive working Top-CARL process
Patterning of organic layers using negative and positive working Top-CARL process
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使用负性和正性 Top-CARL 工艺对有机层进行图案化
DOI：
10.1016/0167-9317(93)90008-s
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发表时间：
1993
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
R. Sezi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Leuschner;H. Ahne;U. Marquardt;U. Nickel;E. Schmidt;M. Sebald;R. Sezi
