MEMS for sensing sub-1G
MEMS for sensing sub-1G
复制标题
用于传感 sub-1G 的 MEMS
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuya Masu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Daisuke Yamane;Katsuyuki Machida;Kazuya Masu
采用后CMOS选择性电镀技术改进CMOS-MEMS加速度计
DOI：
10.1109/transducers.2011.5969153
发表时间：
2011
期刊：
International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference
影响因子：
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作者：
Yu;M. Tsai;Tsung;W. Fang
通讯作者：
W. Fang