結合状態を制御した窒化ホウ素膜の高速堆積に向けた窒素ラジカルフラックス最大化に関する研究
結合状態を制御した窒化ホウ素膜の高速堆積に向けた窒素ラジカルフラックス最大化に関する研究
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氮自由基通量最大化高速沉积受控键态氮化硼薄膜的研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
朝本雄也，濱野誉，松田崇行，野間正男，長谷川繁彦，山下満，占部継一郎，江利口浩二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Watanabe Yuto;Matsuno Takashi;Hama Takayuki;Matsuda Tomoko;Okitsu Yoshitaka;Hayashi Seiji;Takada Kenji;Naito Tadashi;朝本雄也，濱野誉，松田崇行，野間正男，長谷川繁彦，山下満，占部継一郎，江利口浩二
