エバネッセント光を利用した微細加工および高分解能計測

エバネッセント光を利用した微細加工および高分解能計測
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使用倏逝光进行微加工和高分辨率测量

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
2005年度精密工学会秋季大会シンポジウム資料 京都
影响因子:
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通讯作者:
高橋哲
高橋哲
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
S.Takahashi;Y.Inazuki;Y.Kajihara;K.Takamasu;高橋哲

文献摘要

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