Yasushi Inoue: "Infrared Absorption Measurement During Low-temperature PECVD of Silicon-oxide Films"J.Korean Inst.Surf.Eng.. 32. 297-302 (1999)
Yasushi Inoue: "Infrared Absorption Measurement During Low-temperature PECVD of Silicon-oxide Films"J.Korean Inst.Surf.Eng.. 32. 297-302 (1999)
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Yasushi Inoue：“氧化硅薄膜低温 PECVD 过程中的红外吸收测量”J.Korean Inst.Surf.Eng.. 32. 297-302 (1999)
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