室内環境中におけるガス状有機物質へのイオンの影響(第1報)コロナ放電式イオナイザ直下におけるウエーハ曝露実験
室内環境中におけるガス状有機物質へのイオンの影響(第1報)コロナ放電式イオナイザ直下におけるウエーハ曝露実験
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离子对室内环境中气态有机物质的影响（第1部分）电晕放电型离子发生器直接下的晶圆暴露实验
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
諏訪好英ほか
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田村一;鍵直樹;藤井修二;並木則和;大谷吉生;諏訪好英ほか
