低転位自立基板を用いたOVPE-GaN結晶の転位低減

低転位自立基板を用いたOVPE-GaN結晶の転位低減
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使用低位错自支撑衬底减少 OVPE-GaN 晶体中的位错

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
森 勇介
森 勇介
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
相原 正実;宇佐美 茂佳;今西 正幸;丸山 美帆子;吉村 政志;秦 雅彦;伊勢村 雅士;森 勇介

文献摘要

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