板垣 奈穂: "Relationship between the electron temperature and the power absorption profile in ECR plasma"16th Int.Symposium on Plasma Chemistry. (CD-ROM). (2003)
板垣 奈穂: "Relationship between the electron temperature and the power absorption profile in ECR plasma"16th Int.Symposium on Plasma Chemistry. (CD-ROM). (2003)
复制标题
Naho Itagaki：“ECR 等离子体中电子温度与功率吸收曲线之间的关系”第 16 届国际等离子体化学研讨会（CD-ROM）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
