貫通多孔質シリコン層を用いた微小物体吸引デバイスの開発
貫通多孔質シリコン層を用いた微小物体吸引デバイスの開発
复制标题
使用穿透性多孔硅层开发微型物体吸附装置
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内海敦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
早瀬仁則;加藤厚子;内海敦
