Development of a highly reproducible mixed ion beam sputtering method for long-lived carbon stripper foils
Development of a highly reproducible mixed ion beam sputtering method for long-lived carbon stripper foils
复制标题
开发用于长寿命碳剥离箔的高度可重复性混合离子束溅射方法
DOI：
10.1016/0168-583x(93)95940-7
复制
发表时间：
1993
影响因子：
1.3
通讯作者：
Hattori Toshiyuki
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Muto Hideshi;Oyaizu Michihiro;I. Sugai;Kawasaki Katsunori;Takahashi Yohsuke;Ishii Yasuyuki;Hirata Takehide;Hattori Toshiyuki
