表面活性化によるGeウェハの常温接合
表面活性化によるGeウェハの常温接合
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通过表面活化对 Ge 晶片进行室温键合
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
倉山竜二
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Ying-Hui Wang;Tadatomo Suga;Ying-Hui Wang;Ying-Hui Wang;Ying-Hui Wang;Keigo Oshikawa;Ying-hui Wang;Tadatomo Suga;王英輝;倉山竜二;王英輝;倉山竜二