A Novel Numerical Approach for the Analysis of 2D MEMS-Based Variable Capacitors Including the Effect of Arbitrary Motions
A Novel Numerical Approach for the Analysis of 2D MEMS-Based Variable Capacitors Including the Effect of Arbitrary Motions
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用于分析基于 2D MEMS 的可变电容器（包括任意运动的影响）的新型数值方法
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Tentzeris
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Kuroda;N.Miura;M.Tentzeris
