Study on Multi-slicing of Monocrystalline Silicon by Wire EDM-Investigation of Machining Condition for Stable High Speed Processing-

Study on Multi-slicing of Monocrystalline Silicon by Wire EDM-Investigation of Machining Condition for Stable High Speed Processing-
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单晶硅线切割多层切片研究-稳定高速加工的加工条件研究-

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Proceedings of Annual Meeting of Electrical Machining Engineers (2004)
影响因子：
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通讯作者：
Yoshiyuki UNO
Yoshiyuki UNO
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Mutsumi TOUGE;Junji WATANABE;H.Soyama;大塚二郎;宇野義幸;J Otsuka;Yoshiyuki UNO

文献摘要

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