M.Sato, M.Iijima and Y.Takahashi: "Photoresist characteristics of polyurea films prepared by vapor deposition polymerization" Thin Solid Films. 308-309. 90-93 (1997)
M.Sato, M.Iijima and Y.Takahashi: "Photoresist characteristics of polyurea films prepared by vapor deposition polymerization" Thin Solid Films. 308-309. 90-93 (1997)
复制标题
M.Sato、M.Iijima 和 Y.Takahashi：“气相沉积聚合制备的聚脲薄膜的光刻胶特性”固体薄膜。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
