Deposition and surface modification process of amorphous carbon film, investigated with infrared spectroscopy
Deposition and surface modification process of amorphous carbon film, investigated with infrared spectroscopy
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用红外光谱研究非晶碳薄膜的沉积和表面改性过程
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yoshinobu Matsuda and Hiroshi Fujiyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yujiro Taniguchi;Naoki Maruno;Shouhei Yagi;Masanori Shinohara;Yoshinobu Matsuda and Hiroshi Fujiyama
