異なる反応性ガス供給条件下でのCuとInの交互スパッタによるCuInS_2薄膜の作製
異なる反応性ガス供給条件下でのCuとInの交互スパッタによるCuInS_2薄膜の作製
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不同反应供气条件下Cu和In交替溅射制备CuInS_2薄膜
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小林敏志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山口拓也;坪井望;大石耕一郎;金子双男;小林敏志
