Diagnostics of plasma ball formed in high pressure microwave plasma for diamond film synthesis
Diagnostics of plasma ball formed in high pressure microwave plasma for diamond film synthesis
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用于金刚石薄膜合成的高压微波等离子体中形成的等离子体球的诊断
DOI：
10.1016/s0925-9635(01)00632-x
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发表时间：
2002
影响因子：
4.1
通讯作者：
H. Sugai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Nagatsu;M. Makino;M. Tanga;H. Sugai
