XeF2気相エッチングとスンプ法によるセルロイドマイクロレンズ
XeF2気相エッチングとスンプ法によるセルロイドマイクロレンズ
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采用 XeF2 气相蚀刻和 Sumpp 方法制备赛璐珞微透镜
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高田綾子
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松谷晃宏;高田綾子
