TCAD modeling of single MeV ion induced charge collection processes in Si devices

TCAD modeling of single MeV ion induced charge collection processes in Si devices
复制标题

Si 器件中单 MeV 离子感应电荷收集过程的 TCAD 建模

DOI:
10.1016/s0168-583x(03)00711-0
复制
发表时间:
2003
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
H. Itoh
H. Itoh
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
J. S. Laird;T. Hirao;S. Onoda;H. Mori;H. Itoh

文献摘要

被引文献

相似文献