Si基板上に成膜した無電解Fe-Ni-B合金薄膜の熱応力挙動
Si基板上に成膜した無電解Fe-Ni-B合金薄膜の熱応力挙動
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Si基体化学镀Fe-Ni-B合金薄膜的热应力行为
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中村俊博
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山本貴代;永山富男;紺野祥岐;大藏 要;中村俊博
