動的な歪み印加によるp型シリコンウェハの異常な電気特性
動的な歪み印加によるp型シリコンウェハの異常な電気特性
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动态应变导致 p 型硅片电性能异常
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉武剛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鶴田一樹;美藤正樹;田尻恭之;片宗優貴;吉武剛
