Quaternary hard nanocomposite TiCxNy/SiCN coatings prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition
Quaternary hard nanocomposite TiCxNy/SiCN coatings prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition
复制标题
DOI：
10.1016/j.tsf.2004.03.043
复制
发表时间：
2004-11
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
P. Jędrzejowski;J. Klemberg-Sapieha;L. Martinu
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
P. Jędrzejowski;J. Klemberg-Sapieha;L. Martinu
