Particle simulation of a micro inductively coupled plasma source including an external circuit
Particle simulation of a micro inductively coupled plasma source including an external circuit
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包括外部电路的微型电感耦合等离子体源的粒子模拟
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Kouichi Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshinori Takao;Masataka Sakamoto;Koji Eriguchi;and Kouichi Ono
