Overview of phosphorus diffusion and gettering in multicrystalline silicon
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DOI：
10.1016/j.mseb.2008.10.060
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发表时间：
2009-03
影响因子：
3.6
通讯作者：
A. Bentzen;A. Holt
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Bentzen;A. Holt
