Broadband and Polarization Insensitive Surface Optical Coupler Using Vertically Curved Waveguides Fabricated with ArF-immersion Lithography
Broadband and Polarization Insensitive Surface Optical Coupler Using Vertically Curved Waveguides Fabricated with ArF-immersion Lithography
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采用 ArF 浸没式光刻技术制造的垂直弯曲波导的宽带和偏振不敏感表面光耦合器
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Y. Sakakibara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Yoshida、;Y. Atsumi;E. Omoda;and Y. Sakakibara
