Development of estimation method of load distribution between thin films under resistance heating by inverse analysis
Development of estimation method of load distribution between thin films under resistance heating by inverse analysis
复制标题
电阻加热下薄膜间载荷分布反演估计方法的开发
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Ohtsuka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Kishimoto;Y. Kobayashi;T. Ohtsuka
