Development of Kelvin probe force microscope capable of measuring high voltage potential of charge distribution of a MEMS comb electrode
Development of Kelvin probe force microscope capable of measuring high voltage potential of charge distribution of a MEMS comb electrode
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开发出能够测量MEMS梳状电极电荷分布高压电势的开尔文探针力显微镜
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and F. Iwata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Fukazawa;T. Uruma;K. Nakazawa;G. Hashiguchi;and F. Iwata
