M. FUKAZAWA: "Discharge Cleaning by Use of Glow Mode Plasma Source"PROCEEDING OF AUTUMN MEETING OF PLASMAFUSION SOCIETY OF JAPAN. 159 (1992)

M. FUKAZAWA: "Discharge Cleaning by Use of Glow Mode Plasma Source"PROCEEDING OF AUTUMN MEETING OF PLASMAFUSION SOCIETY OF JAPAN. 159 (1992)
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M. FUKAZAWA:“使用辉光模式等离子源进行放电清洁”日本等离子融合学会秋季会议论文集。

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