デジタルツインを用いた結晶成長プロセス最適化技術（SiC溶液成長を中心に）
デジタルツインを用いた結晶成長プロセス最適化技術（SiC溶液成長を中心に）
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使用数字孪生的晶体生长工艺优化技术（专注于SiC溶液生长）
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宇治原徹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
江島直紀，小森博樹，徳山翔貴，三嶋拓望，水津光司;諸橋功;小川洋;中島慎也;関根徳彦;寶迫巌;宇治原徹
