社本 英二: "Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第3報)-平面内3軸同時測定および駆動方法の提案"2002年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. (発売予定). (2001)
社本 英二: "Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第3報)-平面内3軸同時測定および駆動方法の提案"2002年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. (発売予定). (2001)
复制标题
Shamoto Eiji：“使用步行驱动的超精密XYθ工作台的开发（第3次报告）-平面内三轴同时测量和驱动方法的提案”2002年精密工程学会春季会议学术会议论文集（已发表）（ 2001）
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
