フェムト秒レーザーによる逆テーパー形状のダイレクトマイクロ穴加工
フェムト秒レーザーによる逆テーパー形状のダイレクトマイクロ穴加工
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使用飞秒激光直接加工倒锥形状微孔
DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
山口 昌樹
中科院分区:
文献类型:
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作者:
横井 れみ;石橋 勇人;松田 直毅;永福 菜美;鈴木 郁郎;山口 昌樹