銅穴埋めめっきにおけるジアリルアミン系レベラーの影響
銅穴埋めめっきにおけるジアリルアミン系レベラーの影響
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二烯丙基胺整平剂对铜孔填充电镀的影响
DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
近藤和夫
中科院分区:
文献类型:
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作者:
山田康貴;竹内実;岡本尚樹;齋藤丈靖;文屋勝;横井昌幸;近藤和夫